该模块对在制品进行加工管理,指导操作员按照预先设定的工艺要求加工产品,并对加工信息进行详细的跟踪和记录。
其中最主要的作业管理功能允许跟踪多批次同时处理,可按片进行管理和跟踪,提供Wafer级的历史追溯。
除常用的派工(Dispatch)/批量派工(Batch)/进站(Move In)/出站(Move Out)外,其它功能包括:分批(Split)/合批(Merge)、暂停(Hold)/释放(Relase)、跳步(Skip)/跳多步(Mulit-skip)、站内返工(Internal-rework)/站外返工(External-rework)等等。
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