产品与服务

YMS 良率管理系统

YMS,全称Yield Management System(良率管理系统),是一套集数据管理、数据分析、可视化、标准化功能于一体的专业数据分析工具。在半导体设计、晶圆制造、封装测试等过程中(尤其是量产阶段)能够帮助客户工程师大幅提升数据分析效率,快速分析一类或多类数据,找到提高良率的关键点,从而进一步促进整个生产过程稳定和可控、提升产品品质、降低企业成本。

FA YMS主要有以下特点:

  • 标准化、自动化平台

  • 上手简单的实用工具

  • 稳定可靠的数据统计与分析引擎

  • 丰富的图表及统计分析功能


YMS 良率管理系统主要模块包括

  • Tool

    提供图形化配置工具,包括CP产品定义、Zone定义、WATSite-Shot映射管理、权限管理、排程管理等。

    Tool

    提供图形化配置工具,包括CP产品定义、Zone定义、WAT Site-Shot映射管理、权限管理、排程管理等。

  • Script Management

    轻量级的分析脚本(dat)包括分析流程中各模块基础设置,项目级的分析脚本(dap)包括基础设置和产生的结果集合。

    Script Management

    轻量级的分析脚本(dat)包括分析流程中各模块基础设置,项目级的分析脚本(dap)包括基础设置和产生的结果集合。

  • Work Flow

    提供图形化工具,拖拉拽的方式创建工作流,整体分析逻辑更直观,也更容易上手。图元(模块)可双击打开进行详细的设定,同时也支持右键菜单一键执行、重置、复制等功能。

    Work Flow

    提供图形化工具,拖拉拽的方式创建工作流,整体分析逻辑更直观,也更容易上手。图元(模块)可双击打开进行详细的设定,同时也支持右键菜单一键执行、重置、复制等功能。

  • Report

    提供多元化报表,支持输出Excel/CSV/PPT格式文件并定时发送给指定人员,同时用户可自定义手动拖拽Table/Chart/Map元素至报表区域,即时预览报告内容及布局。

    Report

    提供多元化报表,支持输出Excel/CSV/PPT格式文件并定时发送给指定人员,同时用户可自定义手动拖拽Table/Chart/Map元素至报表区域,即时预览报告内容及布局。

  • Defect Analysis

    通过Defect模块进行缺陷数据查询,查看缺陷分布图(DefectMap)、缺陷照片(DefectImage)。

    Defect Analysis

    通过Defect模块进行缺陷数据查询,查看缺陷分布图 (Defect Map)、 缺陷照片(Defect Image)。

  • Zone Analysis

    在CP/Sort单图或叠图模式下选择叠加zone,查看zone叠加后的分布及良率。

    Zone Analysis

    在CP/Sort单图或叠图模式下选择叠加zone,查看zone叠加后的分布及良率。

  • Reticle Analysis

    在CP/Sort单图或叠图模式下选择叠加reticle,查看reticle叠加后的map,以及按shot叠加后每个位置的Bin/Parameter的统计信息。

    Reticle Analysis

    在CP/Sort单图或叠图模式下选择叠加reticle,查看reticle叠加后的map,以及按shot叠加后每个位置的Bin/Parameter的统计信息。

  • Map Analysis

    通过CPMap和SortMap模块分别进行Bin级别的良率分析,以及测试参数级别的分析,支持叠图输出map,显示相应的统计结果。

    Map Analysis

    通过CP Map和Sort Map模块分别进行Bin级别的良率分析,以及测试参数级别的分析,支持叠图输出map,显示相应的统计结果。

  • Chart Builder

    YMS提供丰富的图表分析,包括直方图、正态概率图、累积分布图、饼状图、帕累托图、箱型图、散点图、散点矩阵图、趋势图、时间序列图、曲面图、等高线图等。

    Chart Builder

    YMS提供丰富的图表分析,包括直方图、正态概率图、累积分布图、饼状图、帕累托图、箱型图、散点图、散点矩阵图、趋势图、时间序列图、曲面图、等高线图等。

  • Multivariate Analysis

    包括多元线性回归分析、主成分分析以及偏最小二乘回归分析,通过参数值之间的关系建模,降低数据维数,快速找出重要参数。

    Multivariate Analysis

    包括多元线性回归分析、主成分分析以及偏最小二乘回归分析,通过参数值之间的关系建模,降低数据维数,快速找出重要参数。

  • Basic Analysis

    支持描述性汇总、相关性、变异数以及共通性分析,通过数据结合图表的方式帮助用户分析数据。

    Basic Analysis

    支持描述性汇总、相关性、变异数以及共通性分析,通过数据结合图表的方式帮助用户分析数据。

  • Data Process

    提供常用的数据操作功能,主要有行/列转换、数据处理、数据分组、数据补值、数据过滤等。

    Data Process

    提供常用的数据操作功能,主要有行/列转换、数据处理、数据分组、数据补值、数据过滤等。

  • Data Import

    主要有文件导入、DB导入、SQL数据查询三种方式,支持导入文件Excel和CSV,同时能够根据需求灵活设置查询条件,提升效率。

    Data Import

    主要有文件导入、DB导入、SQL数据查询三种方式,支持导入文件Excel和CSV,同时能够根据需求灵活设置查询条件,提升效率。

  • 软件架构

    数据展现(C/S架构,数据本地处理,速度快)

    数据连接(通过GRPC连接,更安全)

    数据存储(多维度)

    数据抽取(避免全量)


  • 硬件架构

    Loader/GRPC/AP服务器数量可按业务及数据量增加和缩减,并实现负载平衡。

    支持Oracle RAC技术,可实现高并发量的业务处理。

    Client端按个人分析所需数据量进行灵活配置,如果大批量数据操作居多,升级个人PC配置即可。