FA SPC引入了SPC Job概念，所有的监控都基于SPC Job，每个SPC Job包含了数据筛选、规格限设置、SPC Rule设置以及超差动作定义。

SPC Job支持按Wafer或Lot或Batch的多层次的SPC Inline监控。

每一个SPC Job都支持一个或多个控制图，且每个控制图都可使用一个或多个SPC Rules进行监控。

该功能用于设定“非产品数据”的采集计划（或叫做Offline SPC），包括设备相关的数据和环境数据。

支持自定义NonRT采集层级关系；支持自定义属性。

支持定义数据采集的类型：计数型、计量型；支持定义数据的样本编号与子组数。

FA SPC中不拘泥于Western Electric Rules和Nelson Rules，系统中的Rule都可以由用户自定义。

定义时可以指定Rule的ID，Name等，并且一条Rule可以包含一个或多个子Rule，从而更加灵活。

RT是Real Time的缩写。

RT Service是FA SPC提供的一个Web Service接口，是MES或其它系统数据进入FA SPC的入口。

RT Service不仅接受数据，并根据预先SPC Job的设定对数据进行检查，比如OOS/OOC检查，并将处理结果和要求的动作返回给MES等系统，返回的动作包括Hold Lot/Hold Equipment等。

按照NonRT Setup的设定，操作员利用NonRT DataCollection收集Offline数据。

系统支持多种数据数据采集方式：手工录入、文件导入、通过RS232或TCP/IP接口从设备获取数据等。

SPC控制图分析通过图形方式展示已经采集到的SPC数据。

FA SPC提供了丰富的查询和筛选条件，以方便提取符合条件数据进行展示。

通过不同的颜色和形状来表示不同状态的ChartPoint：正常点(Normal)、异常点(Alarm)、已处理过的异常点(Fixed)、违反Rule但并不要求产生Alarm、此点上加有Comment等。

在Chart和ChartPoint上可进行20余种操作。

系统提供自动重算功能，可以根据用户预先设定自动计算控制上下限，并可以同签核系统进行集成。

SPC提供丰富的报表分析，包括Job设定查询，违规点查询，CPK查询等。