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FAM
12寸CIS产线_MES
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12寸硅基Micro OLED生产线_CIM系统
8寸前道生产线_MES+EAP+FDC
8寸前道生产线_MES+EAP+RMS
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前道生产线_CIM系统（含SECS接口改造）
6寸Fab分立器件前道生产线_MES+SPC
8寸fab生产线_APC+EAP+RMS
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